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轮廓度仪
Mahr XC 2
Mahr XC 2
  • 点击数: 206
  • 产品类别: 轮廓度仪
  • 添加时间: 2017-05-09
  • 作者: 上海适威工贸有限公司

轮廓测量软件特征:
• 建立回归直线和圆形
• 建立点、交点、自由点、中心点、最高点和最低点
• 建立坐标系统
• 计算半径、距离、角度、坐标及线性偏差
Mahr马尔MarSurf XC2轮廓仪
入门级高精度轮廓测量仪
快速高性价比的2D 轮廓测量系统为用途最广泛的测量系统.
Mahr马尔MarSurf XC 2轮廓仪
测量原理 : 触针法
传感器 : 测尖和测臂及驱动器 CD120
水平测量长度 :120 mm
垂直测量范围 : 50 mm 或 + 25 mm
放大倍率 : 20 倍
轮廊各取点的距离 : 0.07 um 当扫描速度为 0.1 mm/s
0.35 um 当扫描速度为 0.5 mm/s
轮廓参数 : 曲率半径, 角度, 距离, 坐标, 回归直线的插入和创作,
圆, 圆截面, 确定各个点, 相交各点,坐标轴, 直线, 垂直
线, 圆和圆截面.
校准 : 校准程序


技术数据
驱动单元 CD 120 
扫瞄长度 (X方向) 0.2 mm 至 120 mm (0.0079 in x 4.72 in)
测量范围 (Z方向) 50 mm (1.97 in), 适用于 350 mm (13.78 in) 测臂
                 25 mm (0.98 in), 适用于 175 mm (6.89 in) 测臂
测量系统 (X方向) 高精度光栅测量系统(出厂经激光干涉仪校准)
测量系统 (Z方向) 电感传感器*, 高精度, 高线性度
测针分辨率( Z方向) 0.38 μm (15 μin), 适用于350 mm (13.78 in) 测臂
                   0.19 μm (7.5 μin), 适用于175 mm (6.89 in) 测臂
测量系统分辨率( Z方向) 0.04 μm (1.6 μin)
行程偏差 < 1 μm (40 μin) (在120 mm (4.72 in)全行程内)
测力 (Z方向) 1 mN 至 120 mN, 向上和向下
(可在 MarSurf XC 2设定)
行程升角 在光滑表面, 取决于表面倾斜程度:
向下降低时不超过 88°, 向上上升时不超过77°

Mahr马尔MarSurf XC 2轮廓仪
水平驱动长度 : 120 mm
轮廓垂直测量范围 : 5 0mm (相对零点为+/-25mm)
测力 : 2mN ......120mN.
直线度误差: < 1um / 120mm
X/Z方向定位精度: 1 um
测针分辨率: 0.25 um/ 175 mm 测杆
0.5 um/ 350 mm 测杆
系统分辨率: 0.04 um
扫描速度 : 0.2 mm/s 至 4 mm/s
测量速度 : 0.1mm/s .....4mm/s
测角 : 在光滑表面可抬升 + 12 mm
下降角度到880, 上升角度为770.
测量倾斜: 驱动器可倾 斜±45o以上进行测量

 

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